多級脈沖電源
概述： 該射頻電源采用3U半機(jī)箱設(shè)計(jì)，整機(jī)功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號(hào)，響應(yīng)速度快，信號(hào)質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。 應(yīng)用特征
該射頻電源采用3U半機(jī)箱設(shè)計(jì)，整機(jī)功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號(hào)，響應(yīng)速度快，信號(hào)質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。
應(yīng)用特征
該電源主要應(yīng)用對象包括：刻蝕、ICP、 PECVD。
- gmpower發(fā)布的信息
- ESC靜電卡盤電源 高品質(zhì)射頻電源
- 產(chǎn)品特點(diǎn) 1.電源寄存能量低，內(nèi)置電流限制和保護(hù)電路設(shè)計(jì)使設(shè)備免受浪涌和電弧的損害。 2.通過輸出極性轉(zhuǎn)換，降低了夾盤上電荷的風(fēng)險(xiǎn)。 3.短路和開路設(shè)計(jì)增加了設(shè)備的可靠性。...
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- 匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法，當(dāng)接近匹配點(diǎn)時(shí)，這種高速匹配算法會(huì)逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時(shí)也很容易找到匹配點(diǎn)。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準(zhǔn)確性和可靠性可以很快的...
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開關(guān)電源/插座插頭重發(fā)信息
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